摘要：从添加反应抑制剂入手，借助划痕仪、压痕仪、扫描电子显微镜和X射线衍射仪等先进检测设备，探讨研究抑制剂与CO2比例对Al2O3多层复合涂层性能的影响。结果表明，当抑制剂与CO2的比例20%~40%时，经5h沉积后，对Al2O3颗粒的晶粒度影响不明显，择优取向未能做出判断，但膜基结合力有提高，表面色泽更明亮，使用性能亦有较大幅度提升；当提升比例大于30%时，更高比例的抑制剂添加情况还有待进一步验证。

关键词：抑制剂；晶粒度；使用性能

中图分类号：TG335.86；TH162.1文献标志码：ADOI：10.3969/j.issn.1000-7008.2021.03.008